无尘车间
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无尘车间装修工程的气压规定


无尘车间装修工程施工是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为无尘车间工程。

对于大部分无尘车间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:

1.无尘车间的压力要高于非无尘车间的压力。

2.洁净度级别高的无尘车间的压力要高于相邻的洁净度级别低的无尘车间的压力。

压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

无尘车间中的气流速度规定

这里要讨论的气流速度是指无尘车间内的气流速度,在其他无尘车间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。

对于乱流无尘车间由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;

(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。

(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。
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